氦檢漏的核心原理是通過氦氣作為示蹤氣體，利用質譜分析技術檢測其泄漏信號，從而定位漏點并量化泄漏程度?。具體流程如下：?

?示蹤氣體選擇?

氦氣因分子量小、擴散快、惰性強、本底濃度低等特性，成為理想的示蹤氣體。

?泄漏信號檢測?

?離子化?：泄漏的氦氣進入質譜儀后，被電子束轟擊形成氦離子。

?加速與分離?：離子在電磁場中加速，通過磁場偏轉實現質量篩選，僅氦離子（特定質荷比）能到達檢測器。

?信號轉化?：氦離子產生的微電流經放大處理，轉化為可識別的漏率信號，與泄漏量成正比。

?檢測模式?

?真空檢漏?（負壓）：向密封腔體外噴射氦氣，檢測內部是否出現氦信號。

?正壓檢漏?：向被測件內部充氦，外部用探頭檢測泄漏。

?背壓法?：將被測件置于高壓氦環境，通過真空抽吸釋放內部吸附的氦氣進行檢測。

該技術廣泛應用于真空鍍膜機、半導體外延設備、航天器密封艙等高精度場景